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在洁净室体积确定的情况下,换气次数由该室的送风量决定,而静压差取决于房间的送风量与回风量、排风量的差值。系统总送风量、新风量、总排风量和对外压差可以通过调整风机频率转速或总阀门开启度来实现,各房间的风量和压力则可通过调整分支管路阀门开度来实现。实际检测过程中发现,在通过调节支管风阀对某间换气次数不合格无尘车间进行送风量调节时,往往会使同一洁净区其余的无尘车间送风量改变,即打乱了整个洁净区的风量分配,从而使问题变得更为复杂。另外还常遇到换气次数合格而压差不合格,这种情形在二更常见。主要原因在于护围结构气密性较差和回风口栅格不易调节。
无尘车间的动态监测中,人员流动、新风量不足及房门开启频繁是各无尘车间间压差变化的主要原因,如果无尘车间与大气之间或不同级别无尘车间间静态压差处于临界状态,动态下检测很可能由于人员流动,新风量补充不够而造成压差达不到要求。
悬浮粒子、浮游菌、沉降菌
另外,是集成电路生产用洁净室的净化工程。其控制对象主要根据作为空气中尘埃的集成电路的特征尺寸、集成度,对空气洁净度水平、微振动防止、高纯度物质等的要求不同,必须统一决定具体的工厂产品品种。
为了在洁净室施工净化工序内确保必要的空气洁净度,洁净室净化工序设计相关的各专业设计减少或防止室内扬尘、微生物的产生,在微粒微生物和可能导致交叉污染的资材带人洁净室净化工序内尘埃脆的生物和材料交叉污染危害产品雨量和人身安全的情况下,严格控制不同洁净室净化工序间的静压,根据要求提供洁净空调系统
洁净室施工净化工程设计是各专业设计技术的综合,特别是洁净室净化工程的工艺设计、洁净建筑设计、空气净化设计和各种特殊要求的设计技术的密切合作、相耳渗透和合理配置的综合设计。
洁净室净化工程设计适应工艺(或使用)流程,合理选择各种设备和装置,实现人流和物流顺利短捷,气流型选择合适,洁净空调系统配置合理,各种特殊要求的技术措施合适。
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